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SECS / GEM通讯HMDS镀膜机涉及哪些领域的行业应用？http://www.app17.com/c62303/products/d13084386.html
一．SECS/GEM通讯HMDS镀膜机概述
SECS / GEM通讯HMDS镀膜机通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，改变了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业。
SECS / GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。SECS / GEM通讯HMDS镀膜机在自动化工厂中，接口可以启动和停止设备处理，收集测量数据，更改变量并为产品选择配方。
二．SECS/GEM通讯HMDS镀膜机特点
Ø 智能化： GEM设备可以使用TCP / IP（使用HSMS标准，SEMI E37）或基于RS-232的协议（使用SECS-I标准，SEMI E4）与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。每台设备都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息进行监控和控制。 还有许多额外的SEMI标准和工厂规范参考了GEM标准的特点。
Ø 预处理性能更好：由于是在经过数次的氮气置换后进行的HMDS处理，所以不会在有尘埃的干扰，再者，由于该系统是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺，同一个容器中进行，晶片在容器里先经过100℃-200℃的去水烘烤，再接着进行HMDS处理，不需要从容器里传出，而接触到大气，晶片吸收水分子的机会大大降低，所以有着更好的处理效果。
Ø 处理更加均匀：由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性。
Ø 效率高：液态涂布是单片操作，而本系统一次可以处理多达8盒（4寸）的晶片。
Ø 更加节省药液：实践证明，用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理4盒晶片所用药液还多。
Ø 更加环保和安全：HMDS是有毒化学药品，人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整个过程在密闭的环境下完成的，所以不会有人接触到药液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机，所以也不会对环境造成污染。
Ø 低液位报警装置：当HMDS液位过低时自动发出报警；HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。
Ø 自动吸取HMDS：智能型的程式设定，一键完成作业。HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。
Ø 可自动添加HMDS：将HMDS药液添加至设备自带储液瓶中，无需人工添加，提高生产效率，并有效地避免了人员与药液的接触。
Ø HMDS药液泄漏报警：烤箱安装有HMDS药液泄漏检测系统，检测到HMDS有害气体时设备自动报警。
Ø HMDS气体管路加热系统：HMDS气体管路采用316医用用不锈钢制作，加热其气体管路系统使HMDS液体更有效转化为气体，从而得到更加均匀的涂布效果。
Ø 参数记录功能：可安装数字式温度、压力记录仪，实时监控并记录烤箱内温度及真空度的变化情况。以便于后期参考，选择佳制造工艺。
Ø 温度与程序互锁功能：当箱体内部温度未达到设定值时，涂布程序无法运行。防止误操作损坏产品。
三、SECS/GEM通讯HMDS镀膜机预处理的必要性
在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。
四、SECS/GEM通讯HMDS镀膜机常用规格
上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！
主要业务项目有HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜加工设备，黑蒜发酵设备，环境检测仪器，实验室研究仪器，橡塑检测仪器，电缆检测仪器设备，半导体工艺设备，力学检测仪器，通讯检测仪器，常规检测仪器等。
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