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坚膜无尘烤箱，半导体无尘烘箱-一款三色提示灯的坚膜无尘烤箱 http://www.app17.com/c62303/products/d13079761.html
光刻胶固化氮气烘箱，热风型真空无氧烘箱，高温洁净真空烘箱，450度无氧洁净烤箱，6寸wafer无氧烘箱，高温百无氧化烘箱
坚膜无尘烤箱，半导体无尘烘箱概述
无尘烤箱用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。
坚膜无尘烤箱，半导体无尘烘箱特点
1、 烤箱用于半导体车间100生产线；
2、 设备能够实现对CASETTE内硅片烘烤工艺；
3、 全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
4、 开机后墙体内一直处于恒温状态；
5、 强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到佳温度控制精度；
6、操做人员放入产品后关门，点击开始按钮即可一键完成菜单工艺，完成后伴有声光提示。
坚膜无尘烤箱，半导体无尘烘箱技术参数
1、 无尘等：Class 100;
2、 温度均匀度：±2℃;
3、 温度波动度：±0.5℃（空载）；
4、 温控精度：±0.1℃;
5、 温度范围：RT+10-200/300℃;
6、 升温速率：≥8℃/min（可修改）；
7、 内腔材质：SUS304＃镜面不锈钢；
8、 外箱材质：优质冷轧板喷塑或SUS304＃不锈钢；
9、 密封条：耐高温氟橡胶密封条；
10、氮气装置：可调式浮子流量计；
11、安全装置：漏电保护，超温保护，三色提示灯等。
上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！
主要业务项目有HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜加工设备，黑蒜发酵设备，环境检测仪器，实验室研究仪器，橡塑检测仪器，电缆检测仪器设备，半导体工艺设备，力学检测仪器，通讯检测仪器，常规检测仪器等。
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