无尘烘箱，不锈钢无尘烤箱工作原理与应用场景

发布时间：2026/8/14 14:01:26 阅读人数：226

无尘烘箱，不锈钢无尘烤箱用途:

无尘烘箱，不锈钢无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

无尘烘箱，不锈钢无尘烤箱技术参数：

1.主要技术指标：

无尘等级：Class 100、10;

温度范围：RT+10～300℃；
温度均匀度：±2℃;

温度波动度：±0.5℃（空载）
温控精度：±0.1℃;

工作室尺寸：W1600×D1600×H1000（mm）（可定做）
电源：380v , 50Hz，6KW

网板：2块（高度可调节)

无尘烘箱，不锈钢无尘烤箱特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采平面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；
4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，优良的温度控制精度。

PI 无尘烤箱，BCB固化烤箱产品概述：

本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技术条件及国家相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。

PI 无尘烤箱，BCB固化烤箱技术指标：

1.1 无尘等级：Class100：（符合FED-STD 209E标准：0.3um≤300个0.5≤100个）

1.2温度范围：+60℃~ +400℃（极限温度450℃）

1.3温度均匀性：±2℃（空箱测试）

1.4温度精确度：±1℃（空箱测试）
PI 无尘烤箱，BCB固化烤箱箱体结构：

3.1烘箱总体由箱体部分，电气控制柜部分，电加热部分，风道部分，尘埃物过滤部分，N₂进气排气及外循环水冷部分等组装而成，结构合理，功能实用。

3.2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘，

内胆材料：内箱采用进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。

3.3保温材料：采用正厂中央玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充，有效的防止了热能浪费。

3.4电热部分：采用进口覆套式电热器（SHEATHED HEATER）无尘无氧化电热发生器

3.5风道部分：整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A，(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100；

3.6排气及进气：排气口采用自动风门设计以达到强烈的循环效果及快速降温，进气口加附N₂流量计控制进气量，入气口10mm氧含量可达到40PPM以下

3.7外循环水冷部分：采用纯铜蛇形毛细管分布排列在中筒周围,并有水流量报警控制从而达到理想的控制降温效果。

上海隽思仪器制造热风循环烘箱，洁净烘箱，无尘烘箱，厌氧烘箱，高温无尘固化烤箱，PI胶固化烤箱，BCB胶固化烤箱，无尘无氧烤箱，HMDS预处理烘箱，真空涂胶烤箱，百级烘箱等设备。

原创作者：上海隽思实验仪器有限公司

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