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当前位置：首页 > 产品展示 > 半导体设备 > 洁净烤箱 坚膜烘箱，氮气坚膜烘箱
型号：
产品价格：电议 采购度：151 发布时间：2023/9/14 15:58:11
仪器产地：中国大陆 所属地区：
简要描述： 坚膜烘箱，氮气坚膜烘箱的作用是在一定的温度下,对显影后的衬底进行烘焙。这将使光刻胶的表面在表面张力的作用下而圆滑化,并使光刻胶层中的缺陷因光刻胶表面的圆滑化而减少,并可借此修正光刻胶图形的边缘轮廓。
坚膜烘箱的作用是在一定的温度下,对显影后的衬底进行烘焙。这将使光刻胶的表面在表面张力的作用下而圆滑化,并使光刻胶层中的缺陷因光刻胶表面的圆滑化而减少,并可借此修正光刻胶图形的边缘轮廓。
坚膜烘箱，氮气坚膜烘箱技术性能：
温度范围：RT～250℃；
均匀度：±2%℃;
温度波动度：±0.5℃（空载）
温控精度：±0.1℃;
洁净度：Class100;
计时范围：99H99M；
气体氛围：N2；
内部尺寸（mm）：
450×450×450
500×500×550
600×700×800（可定制）
电源：380v , 50Hz
网板：2-4只（高度可调节)
可扩展功能：
双腔体或多腔体
智能联网功能，MES等工业自动化软件
扫码枪，扫码溯源，一键读取
自动门控，上位机程控，机械手搬运产品
坚膜烘箱也可用于半导体制造中硅片、砷化镓、碳化硅、铌酸锂、玻璃等材料涂胶的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于IC封装、光刻胶固化、银胶固化、电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
更新时间：2024/5/9 9:08:04
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