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烘氮气烘箱,硬烘洁净烘箱

型号:

产品价格:电议      采购度:530      发布时间:2023/10/30 16:10:27

仪器产地:中国大陆      所属地区:

简要描述: 烘氮气烘箱,硬烘洁净烘箱优化光刻胶的光学吸收特性,提高光刻胶对衬底的黏附性

标签:烘氮气烘箱   硬烘洁净烘箱      

产品详情

 烘氮气烘箱,硬烘洁净烘箱用途

  烘可在热烘板或氮气烘箱中进行,本课题采用的热风烘箱为隽思氮气洁净烘箱​,由于在鼓风烘箱中对流烘烤将会使烘进行的更加均匀,所以在鼓风箱中烘的效果将会更理想。

烘是在涂胶结束后进行,它的作用有以下几个方面

驱赶胶中的溶剂

提高胶对衬底的黏附性

提高胶的抗腐蚀能力

优化胶的光学吸收特性

提高涂胶的均匀性

提高条宽控制能力

通过烘,基片上的光刻胶基本固化。

烘氮气烘箱,硬烘洁净烘箱性能:

洁净度:Class100;     

温度:RT+15~200℃;
气体:N2 

计时功能:0-99H99M99S 

设备材质:内部SUS304不锈钢           

工作尺寸(mm):

450×450×450

500×500×550

(可定制)          

网板:活动式2块

烘氮气烘箱,硬烘洁净烘箱适用性:

氮气烘箱也适用于IC封装、光刻胶固化、银胶固化、电子液晶显示、LCD、CMOS、MEMS、医药、实验室等生产及科研.

真空无氧固化炉,高温无氧烘箱技术参数
温度范围: RT ~300/450/550℃;
温度波动度:≤±1

升温速度:0-10℃/min;
降温方式:自然降温或风冷+水冷降温

氮气控制: 可调试流量计控制
氧含量检测:201000ppm

工作尺寸:W350×H350×D350,


高温无氧真空烘箱温控系统:
操作界面:人机界面+PLC,可一键运行,多个工艺编辑;
温度测量:K型热偶;

控制仪表:高精度温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃,

更新时间:2025/6/24 9:35:23

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