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HMDS增粘剂烘箱，HMDS涂胶机@推荐2023产品选型

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产品价格：电议采购度：152 发布时间：2023/12/7 15:54:35

仪器产地：中国大陆所属地区：

简要描述： HMDS增粘剂烘箱即HMDS(六甲基二硅烷)增粘剂气相涂布，涂胶工艺的配置机台。该设备结合了有效的真空烘烤和蒸汽气相涂布应用方法。在使用同一腔室过程的过程，为脱水和蒸汽灌注创造了一个加热的真空环境，大大降低了晶片再水化或污染的风险。同时，提高了安全性，具有更好的安全保障。

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标签：HMDS增粘剂烘箱 增粘剂烘箱 烘箱

产品详情

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HMDS增粘剂烘箱即HMDS(六甲基二硅烷)增粘剂气相涂布，涂胶工艺的配置机台。该设备结合了有效的真空烘烤和蒸汽气相涂布应用方法。在使用同一腔室过程的过程，为脱水和蒸汽灌注创造了一个加热的真空环境，大大降低了晶片再水化或污染的风险。同时，提高了安全性，具有更好的安全保障。

HMDS增粘剂烘箱，HMDS涂胶机工艺步骤

工作腔室泵+N2清洗循环：涂胶过程从泵开始，并在初始烘烤数分钟后清洗预热完成的真空腔室的循环，以到达使基板脱水的目的。将腔室抽真空至低压并重新充入纯氮气数次以去除水蒸气。同时可编程预热脱水步骤提供了足够的加热时间来将晶片预热到工艺温度；

循环吹扫完成后，将降低工作室压力，打开装有 HMDS 化学品的烧瓶的蒸汽阀，当蒸气阀打开时，腔室将化学蒸气吸入，HMDS 蒸气然后与晶片反应。数分钟的汽化时间对晶圆进行底漆处理，汽化时间是可调的，可以根据需要增加，以确保对各种类型的表面进行底漆处理，关闭蒸汽阀并保持烘烤状态；

工作腔室泵+N2排气循环，烘烤时间结束后，N2注入腔体内，真空泵抽出气体，数次循环后以到达使腔内残余HMDS蒸汽排出的目的。

HMDS增粘剂烘箱，HMDS涂胶机技术性能

温度范围：RT+10-200℃

真空度：≤1torr

操作方式：人机界面，一键运行

储液瓶：HMDS储液量1000ml

真空泵：无油涡旋真空泵

工艺编辑：可储存5个程序

气体：N2进气阀，自动控制

容积：40L/90L/210L,可定制

产品兼容性：2~12寸晶圆及碎片、方片等

适用行业：MEMS、滤波、放大、功率等器件，晶圆、玻璃、贵金属，SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、ZnO（氧化锌）、GaO（氧化镓）、金刚石等第三代半导体材料。

上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！

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更新时间：2024/5/8 16:44:17