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HMDS增粘装置，涂敷HMDS增粘剂的装置2023动态已更新《新品/推荐》

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产品价格：电议采购度：156 发布时间：2023/12/12 14:01:32

仪器产地：中国大陆所属地区：

简要描述： HMDS增粘装置，涂敷HMDS增粘剂的装置通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，增加了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

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标签：HMDS增粘装置 涂敷HMDS增粘剂的装置

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智能型HMDS预处理系统，泄露检测HMDS烘箱，HMDS预处理烤箱，HMDS光刻预处理系统，HMDS烤箱，实验室HMDS烘箱

HMDS增粘装置，涂敷HMDS增粘剂的装置用途：

HMDS增粘装置通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，增加了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

HMDS增粘装置，涂敷HMDS增粘剂的装置技术性能：

尺寸（深*宽*高）：

内腔尺寸：300×300×300（mm）

外形尺寸：500×680×780（mm）

材质：外箱采用优质不锈钢，内箱采用316L医用不锈钢

温度使用范围： 80-200℃

温度分辨率： 0.1℃

温度波动度： ≤±0.5

真空度： ≤100pa（1torr）

洁净度: 设备采用无尘材料，适用100光刻间净化环境

电源及总功率: AC 220V±10% / 50HZ ，总功率约2.5KW

控制仪表: 人机界面

搁板层数: 一层

HMDS控制：可控制HMDS药液添加量

真空泵：无油涡旋真空泵

HMDS增粘装置，涂敷HMDS增粘剂使用环境

安装设备使用空开电源，220V、3.0KW ；

工业用氮气纯度99.999%，压力0.2MP，?8mm软管快插接口；

尾气排放KF25阀接口；

周围无强烈电磁场影响，周围无强烈震动；

洁净车间，周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质；

无阳光直接照射或其它热源直接辐射；

周围无强烈气流，当周围空气需要强制流动时，气流不应在直接吹到箱体上；

设备应放在坚固平稳的平面上，并使其保持水平状态；

环境温、湿度5℃～＋35℃，相对湿度：≤85%；

上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！

主要业务项目有HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜加工设备，黑蒜发酵设备，环境检测仪器，实验室研究仪器，橡塑检测仪器，电缆检测仪器设备，半导体工艺设备，力学检测仪器，通讯检测仪器，常规检测仪器等。

更新时间：2024/5/8 16:44:18