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当前位置:首页 > 产品展示 > 半导体设备 > 洁净烤箱 智能型烤胶机,自动烤胶台2023动态已更新《采购/推荐》
型号:
产品价格:电议 采购度:150 发布时间:2023/12/12 15:23:34
仪器产地:中国大陆 所属地区:
简要描述: 智能型烤胶机,自动烤胶台适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。热板温度稳定度高,重复性好。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。
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光刻胶固化氮气烘箱,热风型真空无氧烘箱,高温洁净真空烘箱,450度无氧洁净烤箱,6寸wafer无氧烘箱,高温百无氧化烘箱
智能型烤胶机,自动烤胶台简介:
光刻工艺及其相干技术是微电子机械系统(MEMS)加工工艺的重要构成部门。均胶以及烘焙是光刻工艺中不成缺少的一道儿工序,为增长胶层与硅片表面粘附能力,提高在接触式暴光中胶层与掩模版接触时的耐磨性能及不变胶层的感光灵敏度。高精密程控烤胶机是一种设计为精确控温、准确计时和接近式加热的高性能实验室设备,可实现智能化编程烤胶控制。
烤胶机升温速度快,由高性能数显温控表加热控制,长寿命、高热均匀性的发热部件供热,高硬度、耐腐蚀的阳氧化铝面板。
适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。热板温度稳定度高,重复性好。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。
智能型烤胶机,自动烤胶台技术参数:
加热尺寸:220*220mm(可定制),适用于?200毫米(8英寸)圆片或200x 200毫米方片以下尺寸产品;
温度范围:RT~200/300°C ;
温度精度:0.1°C;
温度均匀性:≤±0.5℃;
电动顶针调节高度: 0~30mm;
加热台表面:耐腐蚀硬质阳氧化铝制成;
加热台顶盖:优 质不锈钢制成;
加热台外壳:优 质冷轧板喷塑;
控制器单元:7寸全彩触摸屏,高PLC控制,实现在指定时间内自动升降,可以定时取片;
电压:220V / 50HZ;
功率:1000W;
辅助功能: 内置真空泵, 自带真空吸附功能和四组限位。
智能型烤胶机,自动烤胶台特点:
1、烘烤时间减少;
2、重复性高;
3、对薄膜的固化效果好;
4、烤胶机整个面板温度均匀,对基片膜层固化效果非常好;
5、阳硬质氧化铝面板不粘面板;
6、带顶升功能,可实现接近模式加热烤胶;
7、程控准确计时,精确控温,顶升高度可调;
8、特殊的隔热设计和长寿命、高均匀性发热部件。
上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统,HMDS烤箱,洁净烤箱,无氧烤箱,无尘无氧固化烤箱,LED烤箱,UV固化烤箱,隧道烘箱,黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能、航空航天等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务!
主要业务项目有HMDS预处理系统,HMDS烤箱,洁净烤箱,无氧烤箱,无尘无氧固化烤箱,LED烤箱,UV固化烤箱,隧道烘箱,黑蒜加工设备,黑蒜发酵设备,环境检测仪器,实验室研究仪器,橡塑检测仪器,电缆检测仪器设备,半导体工艺设备,力学检测仪器,通讯检测仪器,常规检测仪器等。
更新时间:2024/5/20 8:24:50
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